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           CVD系統


          產品簡介

           常規CVD系統由管式爐、流量混合器、真空體統三部分組成。改系統可以滿足絕大部分氣氛或真空環境下的小樣品試驗。每個部分都可以單獨匹配成不同部件以滿足不同的實驗條件,如流量計可以選擇浮子流量計或質量流量計,單通道或多通道,管式爐可以選擇1200/1500/1700℃單溫區或者多溫區爐子。

           

          主要參數

          型號

          QJ1200-CVD60

          QJ1700-CVD60

          工作溫度

          1100

          1600

          升溫速率

          10/min

          10/min

          氣體預熱區

          200mm

          加熱區長度

          200/440mm

          200/300mm

          恒溫區長度

          100/220mm

          50/100mm

          管徑

          50/6/80/100mm

          50/60/80mm

          控溫方式

          30PID程序控溫

          30PID程序控溫

          真空泵

          機械泵/分子泵

          機械泵/分子泵

          真空度

          10-3Pa

          10-3Pa

          進氣種類

          1~4

          1~4




           

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